In vaste stoffen is diffusie een zeer langzaam proces vanwege de sterke interatomaire bindingen die de atomen of moleculen in een vaste positie houden. Vaste stoffen hebben meer geordende structuren met rigide atomaire arrangementen, wat diffusie moeilijker maakt in vergelijking met vloeistoffen of gassen. De diffusiesnelheid in vaste stoffen hangt af van verschillende factoren, waaronder temperatuur, de grootte van de diffunderende soort en de kristalstructuur van de vaste stof. Over het algemeen kan het lang duren voordat vaste stoffen zich verspreiden. Bij sommige metalen kan het bijvoorbeeld jaren of zelfs eeuwen duren voordat de diffusie van atomen plaatsvindt bij kamertemperatuur. In andere gevallen, zoals in halfgeleiders, kan de diffusie worden versneld door warmte toe te passen of defecten in het kristalrooster te introduceren om de mobiliteit van atomen te vergroten.