Wetenschap
Een optische microfoto (vastgelegd op inspectiestation bij Advantech). Het defect is zichtbaar als een donkere vlek aan de randen van twee achtereenvolgens afgezet, d.w.z. gestapelde dunne filmlagen. Krediet:Advantech US/MCL
Advantech VS, Inc. is een in Pittsburgh gevestigd technologiebedrijf dat een groen additief productieschaduwmaskerproces gebruikt om elektronica en fijne lijngeleiders te bouwen door verdampte bulkmaterialen - zoals metalen - op verschillende stijve en flexibele substraten te deponeren. Door componenten laag voor laag op te bouwen, Advantech is in staat om complexe apparaten te maken met functies in het groottebereik van 3-50 micrometer, het vullen van een belangrijke kloof tussen lithografie op nanoschaal en de productie van printplaten, met aanzienlijke kostenvoordelen, brede ontwerpflexibiliteit, eenvoudigere verwerkingsstappen, en verminderd materiaalgebruik. Hun producten omvatten actieve matrix-display-backplanes voor ePaper- en OLED-schermen.
In het Nanofabrication Laboratory van Penn State, ets en depositie leiden Guy Lavallee, werken met onderzoeks- en ontwikkelingsingenieur Chad Eichfeld en lithografieprocesingenieur Michael Labella, heeft met succes een prototype masker van silicium gefabriceerd dat is geëtst met de vereiste kenmerken op micrometerschaal. Een tweede prototype met functies voor fijne uitlijning wordt ontwikkeld.
Het verdampingsproces van Advantech kan metalen afzetten, diëlektrica, en halfgeleiders met behulp van de miniLineTM, een in-line vacuümdepositiesysteem met meerdere kamers. Soms, echter, onverwachte deeltjesverontreiniging
beïnvloedt de prestaties van de gedeponeerde elektronische apparaten ter grootte van een micrometer. Vince Bojan en Julie Anderson van het Materials Characterization Laboratory gebruiken de scanning-elektronenmicroscoop en een scanning Auger Electron Spectrometer om de chemische elementen in de verontreinigingen te identificeren en zo de bron van dergelijke opbrengstbeperkende defecten vast te stellen. Samen, de twee laboratoria helpen een bedrijf uit Pennsylvania uit te breiden naar de zeer competitieve markt voor micro-elektronische apparaten en schakelingen met een eenvoudiger, zuiniger proces.
Advantech Senior Scientist Volker Heydemann zei het volgende over het werken met MRI:"Het is buitengewoon nuttig om de chemie van de verontreinigingen op onze producten te identificeren. Vince Bojan en Julie Anderson van het Materials Characterization Lab hadden binnen een paar dagen bruikbare resultaten. zijn echte experts in elektronenmicroscopie en spectroscopie.De mogelijkheid om Nanofab's verwerkingscapaciteiten toe te passen met MCL's geavanceerde materiaalkarakteriseringstechnieken en expertise biedt inzicht in ons proces dat verder gaat dan de mogelijkheden van onze interne reeks test- en kwaliteitsborgingstools.Ons project met Penn State hielp bij het identificeren en verbeteren van kritieke stappen in ons productieproces."
Een secundair elektronenbeeld verkregen met het AES-instrument (Auger). Deze afbeeldingen werden gebruikt om regio's voor compositieanalyse te selecteren - een voorbeeld is de doos met een monstergebied voor Auger-spectroscopie. Krediet:Advantech US/MCL
SEM-beeld van defect bij hogere vergroting in het AES-instrument dat wordt gebruikt om de lokale elementaire samenstelling te bepalen. Krediet:Advantech US/MCL
Wetenschap © https://nl.scienceaq.com