Er is niet één enkele uitvinder van de hygrometer. Het concept van het meten van vochtigheid bestaat al eeuwen, waarbij verschillende personen bijdragen aan de ontwikkeling van verschillende soorten hygrometers.

Hier zijn enkele belangrijke cijfers in de geschiedenis van de hygrometer:

* Leonardo da Vinci (1452-1519): Hoewel hij niet wordt gecrediteerd voor het uitvinden van een hygrometer, beschreef hij een methode voor het meten van vochtigheid met behulp van de zwelling van een stuk hout. Deze methode werd later gebruikt bij de ontwikkeling van meer geavanceerde hygrometers.

* Francesco Folli (16e eeuw): Folli wordt gecrediteerd voor het bouwen van de eerste bekende hygrometer, die de lengteveranderingen van een menselijk haar gebruikte om de luchtvochtigheid aan te geven.

* Robert Hooke (1635-1703): Hooke ontwikkelde een meer accurate hygrometer op basis van het principe van haaruitbreiding, die later door andere wetenschappers werd verbeterd.

* John Leslie (1766-1832): Leslie vond een differentiële hygrometer uit die het temperatuurverschil tussen een natte en droge lamp gebruikte om de vochtigheid te berekenen.

* Horace Bénédict de Saussure (1740-1799): Saussure ontwikkelde een hygrometer die een menselijk haar gebruikte om vochtigheidsniveaus aan te geven, en zijn werk legde de basis voor de moderne haarhygrometer.

De moderne hygrometer is in de loop van de tijd geëvolueerd met technologische vooruitgang, maar de fundamentele principes blijven hetzelfde, voortbouwend op het werk van deze vroege pioniers.