science >> Wetenschap >  >> Elektronica

Samsung 7nm EUV LPP luidt een nieuwe dag in voor de toekomst van het maken van chips

De wraps zijn afkomstig van het 7nm LPP EUV-proces van Samsung, die al jaren in ontwikkeling is. Het nieuws is dat Samsung nu de volgende fase ingaat van het produceren van chips met behulp van dat proces.

Puls rapporteerde dat "het bedrijf zei dat het massaproductie van chips zal gebruiken met behulp van zijn 7nm low power plus (LPP) -proces met extreem ultraviolette lithografietechnologie, die het bedrijf meer dan een decennium heeft besteed aan de ontwikkeling."

Het persbericht van het bedrijf zei dat tegen 2020, Samsung verwacht extra capaciteit veilig te stellen met een nieuwe EUV-lijn voor klanten die grootschalige productie nodig hebben voor chipontwerpen van de volgende generatie.

(Samsung's onderzoek en ontwikkeling in EUV begon in de jaren 2000. Een van de factoren die bijdroegen aan hun vooruitgang was het verkrijgen van de juiste apparatuur in haar faciliteiten via partnerschappen met de toolleveranciers, om de stabiliteit van EUV-wafels te waarborgen.)

Tech-watchers volgen Samsung's scherpe focus op het gebruik van EUV-patroontechnologie, wetende dat het niet langer een kwestie was van of maar wanneer.

Terug in maart, Mark Richards in EE Times deze extreme ultraviolette lithografie (EUV) stond eindelijk op het punt om in de productie van grote hoeveelheden te worden opgenomen.

ZDNet in juni meldde dat Samsung de eerste gedetailleerde blik op zijn 7nm-platform gaf, die ZDNet zei dat het waarschijnlijk het chipproductieproces zou zijn om een ​​​​vorm van lithografie te gebruiken die al tientallen jaren in de maak is.

John Morris schreef dat Samsung waarschijnlijk een vorm van lithografie zou introduceren die bekend staat als EUV, waarbij gebruik wordt gemaakt van extreem ultraviolet licht. "sinds 30 jaar in ontwikkeling."

Brandon Hill in HotHardware licht werpen op de EUV-aanpak en de voordelen ervan. "In plaats van conventionele onderdompelingstechnieken met argonfluoride te gebruiken, De EUV van Samsung gebruikt in plaats daarvan licht met een golflengte van 13,5 nm (versus 193 nm) om siliciumwafels bloot te leggen. In aanvulling, EUV maakt het gebruik van een enkel masker (in plaats van 4) mogelijk om later een siliciumwafel te maken. Dit leidt tot verminderde complexiteit en productiekosten."

Maanden later, op 18 oktober de aankondiging was kop, "Samsung Electronics start met de productie van op EUV gebaseerd 7nm LPP-proces."

specifiek, Samsung heeft de ontwikkelingsfase doorstaan ​​en is begonnen met de productie van wafers van zijn procesknooppunt, 7LPP, beschreven als " 7 nanometer (nm) LPP (Low Power Plus) met extreem ultraviolet (EUV) lithografietechnologie."

Waarom dit belangrijk is:de introductie van het EUV-procesknooppunt weerspiegelt een stille revolutie in de halfgeleiderindustrie.

Charlie Bae van Samsung Electronics zei dat de "fundamentele verschuiving in de manier waarop wafers worden vervaardigd onze klanten de mogelijkheid biedt om de time-to-market van hun producten aanzienlijk te verbeteren met een superieure doorvoer, verminderde lagen, en betere opbrengsten." Hun 7LPP-proces kan het aantal maskers met ongeveer 20% verminderen in vergelijking met niet-EUV-proces.

Morris had het in juni over deze vermindering van maskerstappen:"Door EUV op 7nm te gebruiken, Samsung kan contacten en sommige metaallagen fabriceren met een enkele stap in plaats van 193nm ArFi te gebruiken met meervoudige belichtingen. Samsung heeft eerder gezegd dat dit het aantal maskerstappen zal verminderen."

Vertaling:Samsung heeft een manier bedacht om het productieproces te vereenvoudigen door het aantal benodigde lagen op elke chip te verminderen, zei SilconAnGLE .

Wat is het volgende? "Het bedrijf heeft niet bekendgemaakt wie de eerste klant zou zijn die zijn 7nm-chips toepast, maar het streeft ernaar om de EUV-lijnen tegen 2020 uit te breiden. " zei Puls .

Als fabrikant van halfgeleiders Samsung heeft miljarden geïnvesteerd in capaciteitsuitbreiding en geavanceerde procestechnologie R&D.

AnandTech heeft enkele details gedeeld over de locatie van deze activiteit. "Samsung produceert zijn 7LPP EUV-chips in zijn Fab S3 in Hwaseong, Zuid-Korea, " aldus Billy Tallis en Anton Shilov. "Het bedrijf kan 1500 wafers per dag verwerken op elk van zijn ASML Twinscan NXE:3400B EUVL step- en scansystemen met een 280 W lichtbron."

© 2018 Tech Xplore