Het molecuul van SiF4 heeft een tetraëdrische vorm. Dit komt omdat het siliciumatoom vier valentie-elektronen heeft, en elk van deze elektronen wordt gedeeld met een fluoratoom. De vier fluoratomen zijn in een tetraëdrische vorm rond het siliciumatoom gerangschikt, waarbij elk fluoratoom een ​​van de vier hoeken van een tetraëder bezet.