Siliciumtetrafluoride (SiF4) is een molecuul met een tetraëdrische structuur. Dit betekent dat de vier fluoratomen op een symmetrische manier rond het siliciumatoom zijn gerangschikt, waarbij elke F-Si-F-bindingshoek 109,5° meet.

Het siliciumatoom in SiF4 is sp3-gehybridiseerd. Dit betekent dat het siliciumatoom vier valentie-elektronen heeft, die allemaal worden gebruikt om vier enkele bindingen met de vier fluoratomen te vormen. De sp3-hybridisatie resulteert in de vorming van vier tetraëdrische orbitalen, die naar de hoeken van een tetraëder zijn gericht. De vier fluoratomen bezetten deze vier orbitalen en vormen de vier Si-F-bindingen.

De sp3-hybridisatie van het siliciumatoom in SiF4 is ook verantwoordelijk voor de tetraëdrische vorm van het molecuul. De vier tetraëdrische orbitalen wijzen in verschillende richtingen, en de vier fluoratomen zijn op de hoeken van een tetraëder geplaatst om afstoting tussen de elektronenparen te minimaliseren.

Samenvattend resulteert de sp3-gehybridiseerde structuur van SiF4 in een tetraëdrische moleculaire geometrie met vier Si-F-bindingen.